西湖仪器率先实现12英寸碳化硅衬底激光剥离

我不是糖心vlog 热点 2025-03-26 1 0

界面新闻获悉,近日,由西湖大学孵化的西湖仪器成功实现12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化解决方案,大幅降低损耗,提升加工速度,推进了碳化硅行业的降本增效。

此前,西湖仪器已率先推出“8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备”,并于今年1月荣获“国内首台(套)装备”认定。

与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙、更高的熔点、更高的电子迁移率以及更高的热导率,能够在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业升级的关键材料。但衬底材料成本占据整体成本的比例依然居高不下,严重阻碍了碳化硅器件大规模的产业化推广。降本增效的重要途径之一是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。

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